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为下道工序的质量打好基础,清洗主要参数、工艺流程见《清洗作业指导书》。
5-2-3、涂胶:
涂胶是光刻的首道工序,它是在ITO玻璃ITO面上均匀涂一层光刻胶,LCM液晶显示屏
由以上可知液晶分子的排列并不象晶体结构那样牢固,所以容易受到电场,磁场、温度应力以及吸附杂质等外部影响。因而容易使其各项光学特性发生变化。液晶的这种作用力微弱的分子排列正是液晶有今日之广阔市场的关键条件。液晶具有固定的偶极矩,所以施加电场可使液晶分子轴发生移动,于是液晶分子的排列发生改变。
涂胶的效果好坏直接影响光刻的质量,它主要控制的内容为:光刻胶的配制,涂层厚度及均匀性,涂层表面状态等。5-2-5-5、如用菲淋做掩膜版,菲淋与光学基板需贴合平整、紧密,不允许部分鼓起。
5-2-6.显影:
显影是将感光部分的光刻胶溶解,
同性的液体。反过来这类物质从液体转变成固体时,也要经过中间状态。各种能在一定的温度范围内兼有液体和晶体,二者特性的物质叫做液晶(LiquidCrystal)也叫做液晶相、中间相或中介相等,又称为物质的第四态。
液晶的由来
液晶最早是奥地利植物学家莱尼茨尔(F.Reinitzer)于1888年发现的。
LCM液晶显示屏除去留下来感光部分的胶膜从而显示出所需的胶层图案。显影过程是将曝光后的玻璃放入显影槽中,经过一段时间后取出,再通过DI水把显影液冲洗干净。显影液在封口作业中须注意:
①封口胶应密封、避光保存;
②应在低温10℃以下贮藏封口胶;
③封口胶有毒,LCM液晶显示屏
发现某些物质(脂甾醇的苯甲酸脂和酯酸脂)溶化后会经过一个不透明呈白色浑浊液体状态并发出多彩而美丽的光泽,只要继续加热才会变成清亮的液体。1889年,德国物理学家莱曼(O.Lehmann)用由他设计,在当时作为最新式的附有加热装置的偏光显微镜对这些脂类化合物进行观察。
操作时应戴手套,如沾在皮肤上,用碳酸水洗净;